UHP超高純供氣系統(tǒng)中的細(xì)節(jié)注意點(diǎn)——不銹鋼管道

作為不銹鋼管系工程中的一員，HP超高純供氣系統(tǒng)更是如此，細(xì)節(jié)的重要性體現(xiàn)得淋漓盡致，大型氣體(液體)系統(tǒng)中對(duì)特氣純度的使用要求可達(dá)99.9999%，可以說(shuō)，特氣系統(tǒng)每一個(gè)地方出現(xiàn)一個(gè)小問(wèn)題，就會(huì)導(dǎo)致氣體不純，生產(chǎn)出問(wèn)題，甚至事故！

現(xiàn)在我們來(lái)詳細(xì)介紹一下其中的一個(gè)細(xì)節(jié)，UHP超高純供氣系統(tǒng)中的不銹鋼管道！

對(duì)于半導(dǎo)體、集成電路、生物醫(yī)藥等行業(yè)來(lái)說(shuō)，輸送超純介質(zhì)(氣體)的高純氣體管道需要的是一種綜合考慮組織穩(wěn)定性、耐蝕性、加工性能的不銹鋼管。

因此，高純度的管道既要有美觀的外觀(外部純度)，又要有物美價(jià)廉的材料(內(nèi)部純度)。

一、外部純凈：與傳統(tǒng)不銹鋼管道內(nèi)外表面灰蒙蒙、凹凸不平的感覺(jué)不同，目前超純氣體管道不僅外觀光潔，而且內(nèi)部表面粗糙度也較好，以確保管道系統(tǒng)對(duì)輸送的介質(zhì)保持中性，并保證的徹底吹掃和清潔性能，目前工程師和技術(shù)人員經(jīng)常提到的表面粗糙度Ra值正是管道系統(tǒng)內(nèi)部表面粗糙度的基本要求。為保證自動(dòng)軌焊質(zhì)量和效率，當(dāng)然尺寸公差也是基本的要求。

二、內(nèi)部純凈指材料純凈：真正意義上的超純凈，氣管材僅僅有美觀的內(nèi)外表面是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的，對(duì)管路系統(tǒng)的材料也有非常嚴(yán)格的要求，不管是化學(xué)成分還是機(jī)械性能都有一定的定義。因此，我們所說(shuō)的純凈管是由純凈管316L組成，指不銹鋼中的不純物盡可能減少到一定的范圍內(nèi)，非金屬夾雜及氣體成分控制在限度，而高純凈管則可分為BA級(jí)和EP級(jí)，超高純供氣系統(tǒng)一般采用不銹鋼管316LEP級(jí)，即電解拋光不銹鋼管。

超高純供氣系統(tǒng)方案純化等級(jí)為不銹鋼管。

總之，在保證超高純電子特氣管道系統(tǒng)中性的情況下，我們要注重管道表面粗糙度Ra值、尺寸公差和本身的潔凈材質(zhì)，使顆粒產(chǎn)生和積滯得到有效抑制，確?？珊感院秃附淤|(zhì)量。如此可以保證內(nèi)外純凈的不銹鋼管子，在焊接時(shí)可減少煙塵的發(fā)生，產(chǎn)生顆粒，提高焊接部位的耐蝕性和平滑性。